製品情報 測定検査装置　メーカー28社の製品一覧

"Klarity(R)"　歩留まり解析ソフト/システム

ウェーハ形状／特性測定装置、欠陥／異物検査装置、歩留まり解析ソフト／システム

ライフタイム測定装置、平坦度・形状測定装置、魔鏡システム、エッジ・ノッチ形状測定装置、エッジロールオフ測定装置、ソーティングシステム・移載機、貼り合せ評価・エッジ欠陥検査装置、結晶性評価装置(FPD）

高分解能FEB測長装置、設計データ応用計測システム、欠陥レビューSEM、ウェーハ表面検査装置、暗視野式ウェーハ欠陥検査装置

走査型電子顕微鏡（SEM）の技術を応用し、フォトマスクやウェーハ上の配線パターンなど微細な表面構造を高精度かつ安定的に測定

絶縁抵抗測定・リーク電流測定、導体抵抗測定、DC電流印加試験、電気特性評価システム

エッチング、スパッタ、CVD等のプロセス中のプラズマ発光をリアルタイムでモニタするシステム

パターン付ウェーハ外観検査装置

ウェーハ用平坦度測定装置、円盤用表面形状測定装置

視野角測定において、液晶パネルの位置制御＋液晶表示画像制御＋分光輝度計データ収集を自動測定

専用ソフトによる簡単な設定で高精度な位置決めと非接触レーザ変位センサ2台による、ウェハの表面・裏面の変位測定

変位、振動、厚さ等の物理量を非接触のプローブにより検出

温度可変反り検査装置、インラインバンプ検査装置、ウェーハマイクロバンプ検査装置

汎用三次元検査装置、ICパッケージ基板バンプ検査装置、ウェーハバンプ検査装置

波長分散型蛍光X線分析装置、反射率、エネルギー分散型蛍光X線分析、光学素子、全反射蛍光X線分析装置、高分解能X線回折装置、X線トポグラフィ装置、結晶方位測定装置、CD SAXS

LEDチップスポット測定システム

加熱形状変化を３D動画変化で計測観察

非破壊光学測定技術により、半導体チップ (ウェーハ) の超精密測定と分析が可能

ハンダボールリペア装置、ウエハー外観検査装置、ウエハーレビュー装置、表裏パターンずれ検査装置、マイクロLED検査＆リペア装置、狭ベゼル対応レーザーボンディング装置、ダイレクトレーザーソルダリング装置

シール剤断線検査装置、パネル貼り合せズレ検査装置、パーテイクル検査装置、スペーサー検査装置、Wave Line 検査装置

ＳｉＣ／ＧａＮ関連 ウェハ表面検査装置、ウェーハ表面検査装置
表面パーティクルスキャナ

カラーフィルタ分光特性測定装置、光学特性検査装置、分光放射輝度計、動画特性評価装置、透過率・反射率測定装置、膜厚検査システム、配光測定装置